Dear Rita san
いつもお世話になっております。中外炉工業の三浦です。
ご連絡が遅れ申し訳ありません。
下記2点連絡致します。
【HEPA Fileter 交換について】
Scheduleの変更が難しいとの事ですので、以下でお願い致します。
5/24(火) 30枚塗布済み基板積載 生産Recipeで処理 AOI測定用
5/25(水) 貴社でのHEPA Filter 交換作業の立会い
5/26(木) Oven空炉にて400℃昇温
5/27(金) Oven 2 batch 処理して下さい。
1回目 : 6枚塗布済み基板+24枚Dummy基板積載 生産Recipeで処理
AOI測定用
2回目 : 6枚塗布済み基板+24枚Dummy基板積載 生産Recipeで処理
AOI測定用
5/28(土) 30枚塗布済み基板積載 生産Recipeで処理 AOI測定用
5/28以降 貴社にてOven生産Recipeでの継続したAOI測定Dataのご提示をお願いしま
す。
入門者
5/24(火) 新谷、TIMON、ERIC
5/25(水)~28(土) TIMON、ERIC
【FAT】
添付のSchedule表にて調整の程よろしくお願い致します。
尚、塗工液ですが、5/20(金)着を予定しております。
32kgはダンボール箱4箱(1箱あたり、4kgボトルx2本)であり、そのうちの1つに前
回同様温度計を入れております。
前回同様、4箱はパレット梱包しているので、温度履歴はほぼ同じと考えていただけ
れば問題ございません。
また、前回同様、温度計の回収、Kaneka 上手様への返却をお願い致します。
返却後は、温度計のデータをKaneka殿より連絡もらえる事になっております。
以上よろしくお願い致します。
(See attached file: HV FAT schedule for L3C_20160513.xlsx)(See attached
file: HV FAT schedule for L3C_20160513.pdf)