お疲れ様です 進捗状況等を報告します 4/29〜5/1 ユーザーグリッ

お疲れ様です
進捗状況等を報告します


4/29〜5/1
ユーザーグリッド用新基準値作成
ユーザーグリッドファイルの作成

4/30、5/1 打ち合わせ
キャノン殿の露光機評価測定（SCAN DATA)の結果
カバーガラス搭載前と搭載後で同じ位置にＴＰグラフのズレている傾向がみられる
その部分のＺグラフを確認すると空気残りの件はカバーガラスを搭載しても解消されていない
カバーガラスで改善されない空気残りの、今後の対応策を持って責任者にLGD広州に来て状況の整理をして終了させるように要求される
その時に4/24に発生した直交度の変化（LG側は直交の変化と決め付けている）の今後の再発防止策、発生した場合の対応のフローチャートを作成したものを用意する

LG要求
1、直交度問題、カバーガラスの問題を整理するために責任者が来る
2、空気残りの対策、作業の完了
3、直交度問題の再発防止、再発した場合にLG側で対応出来る様にフローチャートの作成
4、キャリブレーションのパスワード化
5、直交度補正後の結果をSCAM画面上に表示する




＊1キャノン殿の露光機評価測定（SCAN DATA)の件
SCAN DATA測定はガラステーブルの中心で測定を行っています
ガラスカバー搭載時の平面度調整で1番低かった部分になるのでガラス基板とカバーガラスの間に空気が残ってしまってい
面形状に影響を与えている可能性があります。
この位置は平坦度調整時にこれ以上上がらなかった部分であります
しかし、カバーガラス搭載後にカバーガラスとガラステーブルが馴染んできている傾向が見られるので
再度の調整を行えば、もう少し面精度を向上させられる可能性がありますので、LGに時間をもらい現状の平坦度測定を
行いたいと思います

＊24/24に発生した直交度の変化（LG側は直交の変化と決め付けている）件
canon殿_評価測定グラフの”4/24に直交度が変わったと連絡を受けANGLE基準値を変更した後のグラフ”を見る限り
直交度のズレとは考えにくいです
推測は、カバーガラスの面形状が変化した可能性が高いです
カバーガラス搭載直後のユーザーガラス測定結果のZ測定値がP-Pが200μm程度だったものが、最近はP-P160μmまで変化してきています
パジュでも同様な現象が発生している（数日後に測定データが大きく変わる）ことから1週間程度で面形状が変化したことが原因と考えます

その他
村井さんへ
CF側からカバーガラスの要求がきています
仕様書には記載されていませんが、最終立会いの時の議事録にカバーガラスの件が記載されています（ヒョンさんからの情報）
やらない方向で進めてください
空気残りの対策としては、カバーガラスはデメリットが多すぎます

須磨さんへ
5、直交度補正後の結果をSCAM画面上に表示する→これは対応可能でしょうか？

以上

結果 (繁體中文) 1:

Thank you 為您是
報告進展情況等


4 / 29 一個 5 / 1
使用者網格為創造新的價值
ユーザーグリッドファイル 創建

會議 4 / 30 和 5 / 1
加農炮，曝光單位測量掃描資料） 結果
傾向 TP 圖表滑蓋玻璃與前面安裝以後在相同的位置
不信看其各部分的 Z-圖並配有蓋板玻璃空氣的其餘部分
剩餘的蓋板玻璃空氣中並不能改善所需今後的措施來廣州違約損失率負責安排的情況，必須要結束
如果有你在那時間變化品牌和正交變化 LG 側） 未來預防性的措施，創建流程圖的正交地震 4/24

LG 請求
來組織 1、 正交、 玻璃問題負責
空氣餘下的工作完成的 2
3，正交性問題，防止如果你繼續創建流程圖的 LG 支援
4 校準密碼的
5、 正交校正後的結果在螢幕上顯示的騙局




＊ 1 大炮，曝光單位測量掃描資料) 從
掃描資料的測量不會在玻璃桌的中心測量
或平坦度調整，因為空氣玻璃和玻璃之間，留在一個玻璃 1-下部分裝載時
你可能已影響到表面。
5 月部分沒有上升在此位置的任何更多平面度調整
但因為蓋板玻璃和玻璃桌的趨勢也越來越熟悉玻璃裝入後
5 月再做調整，另一個小面均較好，所以沒有時間到 LG 平面度測量的
想

正交地震 ＊ 24/24 小時更改品牌和正交變化 LG 側） 從
在評價測量圖表 _ 佳能"稍後收到 4/24 的調用改變了和改變的角度參考值圖表"
不太可能和不同心度正交
猜可能更改形狀的玻璃是
Z 測量玻璃的安裝後使用者玻璃測量 p-p 200 µ m 最近被改變的 P P160 μ m
正在經歷類似的現象在坡州天后不同的測量資料 （） 認為造成的變化在形狀中只要在一周後的

其他
到村居
玻璃請求來自于 CF 端
中沒有提到了規範、 程式覆蓋從最後出席 (從玄的資訊） 列出
不在一個方向進行
空氣的措施作為剩餘的封面的缺點很多太

Suma，歡迎
→ 5、 正交校正後結果顯示騙局對這種對應關係可能概覽

上面

結果 (繁體中文) 2:

乾杯的良好的工作
匯報進展情況，如4/29至5/1 用戶電網新的參考值創建創建一個用戶網格文件4/30，5/1次會議結果（掃描數據）曝光機評測和大砲大廳測量封面有該TP圖形在安裝玻璃安裝前後的同一位置的偏差的傾向剩餘空氣的物質不即使配備有蓋玻璃，當它被確認的部分的Ž圖形解決空氣，不與玻璃蓋片改善它必須終止對形勢的組織來廣州LGD負責人帶來對策其餘在未來正交性是發生在4/24正交變化（LG方面變化時，準備創建了對應的措施，以防止再次發生在未來的）的情況下的流程圖的東西都烙，發生了LG的要求負責人來組織之一，正交性問題，玻璃蓋的問題2，空氣中剩餘的，工作完成的措施是流程圖3，防止復發的正交性問題，因為可以通過LG方面，如果你復發支持4，校準密碼詐騙屏幕5，正交的校正結果要顯示在中（掃描數據）曝光機評測和* 1炮大廳測量此事掃描數據的測量，我們已按在玻璃桌子中央安裝時玻璃由於部分是較低的1號平整度調整玻璃蓋空氣，我的玻璃蓋和基板之間留有可能影響表面形狀。它是一部分沒有去任何更多的調整平整度時，這個位置，然而，往往玻璃桌子和蓋板玻璃變得熟悉了玻璃蓋的安裝，因為看過後再次進行調整，是提高表面精度多一點有一種可能性，維持現狀的平直度測量得到了一個時間給LG 和我想要做的（LG方面是品牌與正交的變化）關係都發生在* 24/24的變化正交親愛的佳能_至於“圖你已經改變之後接收到角度基準值的通告正交性變化為4/24”的評價的測量圖的是不太可能的正交性的偏差的猜測，蓋玻璃的表面形狀被改變最有可能最近已被改變到玻璃蓋的玻璃用戶測量的P-P160μm東西Ž測量立即安裝為200微米左右的PP之後，類似的現象發生在坡（數我們相信，表面形狀在一個星期左右的測量數據變化很大天之後）改變的，因為它會導致其它要村井先生的護罩玻璃的請求已經從CF側雖然未在說明書中描述的， （從炫信息），已在蓋玻璃的證人的時間的分鐘的事情被描述最後請盡快的方向，我不會放棄的空氣剩餘，蓋玻片缺點太多的措施來蘇馬的5和它的正交性的結果屏幕顯示詐騙校正後→如果發生這種情況？可用？以上

結果 (繁體中文) 3:

做

4/30


4/29 ？5/1
取得
用戶柵格文件報告
進展的用戶柵格用途新的標準價值感謝您，曝光機器評估測量(沒有改進與
蓋玻片的空氣餘下它沒有被溶化，即使空氣餘下的問題用蓋玻片裝備，當
是在TP圖表外面由於SCANDATA)的傾向在位置同一樣固定於前方與
在部署的蓋玻片被看見證實部分Z圖表)的5/1見面的
佳能的，反對變動的未來再現預防措施(LG邊標記它作為正交變動)的
有時發生到4/24那是要求我的正交性程度來到人的LGD廣州負責與未來對抗措施并且安排情況和終止它，

LG需求
1為做它的流程圖的事做準備，當它發生了，正交性程度問題，
2負責的人來安排蓋玻片的問題，空氣餘下，工作，正交性程度問題的再現預防完成
3措施，曝光飛機評估測量(因為它是，空氣在SCANDATA問題
SCANDATA測量)的零件停留是平面程度調整在測量在玻璃桌的中心的
玻璃蓋部署時，并且最是低的在玻璃基體和蓋玻片)顯示
5的*1




之間佳能，在正交性程度修正以後的一個結果在做
4的詐欺屏幕上流程圖，定標的密碼能應付在LG邊，當它復發
時我也許影響它以面具的形式。
A發生對
第二

*24/24正交性程度的變動(LG邊標記它作為正交變動)問題我花費了在LG的時間也許是改善的圖容忍有點更，如果我調整了它和
要進行當前扁平程度測量，因為傾向是零件比此沒有攀登更多在扁平程度調整時仅的
做了這個位置和蓋玻片和玻璃桌熟悉，在蓋玻片部署是看的
後很可能是一次測量的用戶玻璃結果大約200μm頁Z測量在
蓋玻片部署之後的對假如是蓋玻片的面具的那個形式的事改變了到變動到是難考慮與
正交性程度的空白的通信的
猜測，當正交性程度把變成4/24"教規_評估測量圖表，只要我觀看」以後最近被改變名譽角度標準價值的圖表到P-P160μm
在ことから改變的面具的那個形式大約一個星期，當一種相似的現象在パジュ(測量數據時在蓋玻片需求來由
CF邊導致和想法的

其他
村井的
規格發生幾天後轉動大)沒有被列出，但是可能推進到分鐘在
的電話時或方向沒有蓋玻片的問題被列出(從ヒョン的信息)的地方在持續，并且，至於蓋玻片，那裡是
空氣餘下

的措施的許多記過5月→顯示
5的這，結果，在詐欺屏幕支持Suma後的正交性程度修正;更多比

？