前日、エッチング槽の液が廃液できないと連絡があり、確認のため下記のエッ

前日、エッチング槽の液が廃液できないと連絡があり、確認のため下記のエッチング槽の外槽ドレンのソレノイドバルブを手動で開したところ漏水センサーアラームが鳴った。漏水センサーを確認したところエッチング液が漏れ感知されていた。筐体ドレン内にも多少流れていた。

結果 (繁體中文) 1:

電磁閥手動打開在哪裡洩漏感應器警報響起流失天、 蝕刻液廢水無法連絡及蝕刻槽下面外的罐。 證實，曾經發現過刻蝕液洩漏洩漏感應器。 套管流失甚至略有流動。

結果 (繁體中文) 2:

的前一天，在蝕刻浴的液體是有一個接觸不能廢液，響，其中以下的蝕刻浴的外桶漏極的電磁閥被手動地打開確認漏水傳感器報警位置。腐蝕液我們漏水傳感器的審核後已經洩漏檢測。它是在住房流失有所流動。

結果 (繁體中文) 3:

前一天，蝕刻槽的液是不會廢液的和聯絡，為了確認下列的蝕刻槽的外邊槽排水的電磁閥報警了。發現漏水感測器的地方被發現刻蝕液洩漏。外殼排水也多少有些流動。