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段差加工によりエッジ部の膜厚変化を抑え、周辺ムラや寸法精度の改善に効果
段差加工によりエッジ部の膜厚変化を抑え、周辺ムラや寸法精度の改善に効果があります
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台階處理抑制了邊緣處的膜厚度的變化,並且對於改善周邊不均勻性和尺寸精度是有效的。
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通過臺階加工可以抑制邊緣部的膜厚變化,對改善周邊不均勻和尺寸精度有效果
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